アズワン 6インチTi+AlCu（スパッタ）膜付きウェーハ（Ti50nm+AlCu100nm ±10％研究用[P（100） 1-100Ω] 片面ミラーDF品 15枚入

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研究用総合機器 /実験用素材 /ウェハー・基板

商品説明

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

●サイズ：6インチシリコンウェハ
●Ti（チタン）+Al-Cu（アルミ-銅）【スパッタ】膜厚み：50nm+100nm±10％（データ付き）
●直径（mm）：150.0±0.5
●ウェハー厚（μm）：625±25
●製造方法：CZ法
●導電型：P型
●面方位：100
●抵抗値（Ω・cm）：1〜100
●OF長（mm）：47.5±2.5mm
●面状態：ミラー／エッチド
●パーティクル：ダストフリー
●TTV（μm）：≦20
●数量：15枚（1箱）
●
※特注対応品
●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。

●多様な形状加工と表面処理が可能です（例：エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。

●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。

●
※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。

●
※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
入数:1箱(15枚入)

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¥ 889,560-(税込)

アズワン 6インチTi+AlCu（スパッタ）膜付きウェーハ（Ti50nm+AlCu100nm ±10％研究用[P（100） 1-100Ω] 片面ミラーDF品 15枚入 1

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